線寬檢測 文章 進(jìn)入線寬檢測技術(shù)社區(qū)

半導(dǎo)體線寬檢測的首個ISO國際標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布

• 近日，國際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）正式發(fā)布了微束分析領(lǐng)域中的一項國際標(biāo)準(zhǔn)：“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”（Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)），該標(biāo)準(zhǔn)由中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心的丁澤軍團(tuán)隊主導(dǎo)制定，是半導(dǎo)體線寬測量方面的首個國際標(biāo)準(zhǔn)，也是半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域由中國主導(dǎo)制定的首個國際標(biāo)準(zhǔn)，
• 關(guān)鍵字： 半導(dǎo)體  ISO國際標(biāo)準(zhǔn)  線寬檢測