薄膜壓電mems 文章 進(jìn)入薄膜壓電mems技術(shù)社區(qū)
基礎(chǔ)知識(shí)之薄膜壓電MEMS
- 壓電表示壓電元件(Piezoelectric Element、Piezoelectric Device),壓電元件是指通過施加力(壓力)產(chǎn)生電壓(壓電效應(yīng)),或與之相反,通過施加電壓產(chǎn)生變形(逆壓電效應(yīng))的元件。壓電元件使用具有壓電效應(yīng)的壓電材料。施力時(shí),(+)正離子、(-)負(fù)離子的位置會(huì)移動(dòng),產(chǎn)生(+)和(-)電荷的偏移(電極化),從而產(chǎn)生電壓。利用壓電效應(yīng)的主要用途是傳感器,利用逆壓電效應(yīng)的主要用途是執(zhí)行機(jī)構(gòu)。壓電材料的種類壓電材料大致分為單晶、陶瓷、薄膜等。羅姆采用的是使用鋯鈦酸鉛(PZT)的薄膜壓
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薄膜壓電mems介紹
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