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遷移率
遷移率 文章 進(jìn)入遷移率技術(shù)社區(qū)
載流子遷移率測(cè)量方法總結(jié)
- 遷移率是衡量半導(dǎo)體導(dǎo)電性能的重要參數(shù)，它決定半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率，影響器件的工作速度。已有很多文章對(duì)載流子遷移率的重要性進(jìn)行研究，但對(duì)其測(cè)量方法卻少有提到。本文對(duì)載流子測(cè)量方法進(jìn)行了小結(jié)。
- 關(guān)鍵字： 半導(dǎo)體材料 遷移率
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遷移率介紹
遷移率
在電場(chǎng)作用下，半導(dǎo)體中的載流子作定向漂移運(yùn)動(dòng),由此形成的電流稱(chēng)為漂移電流。在電場(chǎng)強(qiáng)度不太大時(shí)，電子和空穴移動(dòng)的速度（也稱(chēng)漂移速度）vn、vp與電場(chǎng)強(qiáng)度E成正比，可表示為
vn=－mnE 或vp=mpE
式中，mn為電子遷移率；mp為空穴遷移率。遷移率m是單位電場(chǎng)強(qiáng)度引起的載流子的平均漂移速度，其數(shù)值與半導(dǎo)體的材料、摻雜濃度、溫度等有關(guān)。在室溫300K時(shí)，硅材料的mn =0.13 [ 查看詳細(xì) ]
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