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          防微振技術(shù)使精密生產(chǎn)成為可能

          •   防微振技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)的各個領(lǐng)域,從而保證精密設(shè)備能在各種復(fù)雜的振動環(huán)境下正常工作。   電子工廠設(shè)計中的一個重要環(huán)節(jié)是微污染控制。電子工業(yè)是精密制造業(yè),由于科技進步的日新月異,制造精度已達到了納米級。以集成電路為例,制版、光刻等工序需將環(huán)境微振動控制在VC-E或VC-F級,即振動速度應(yīng)小于3μm/s或1.5μm/s。對于TFT-LCD、LED(發(fā)光二極管)及OLED(有機發(fā)光二極管)來說,也有較嚴格的微振動控制要求,如曝光機、涂布機等在自身會產(chǎn)生振動的情況下,要保證設(shè)備基臺的振動
          • 關(guān)鍵字: TFT-LCD  LED  防微振  OLED  
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          防微振介紹

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