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ASML光刻機(jī)機(jī)密被中國(guó)人竊???荷蘭部長(zhǎng)否認(rèn)
- ????在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,最重要的一個(gè)過(guò)程就是光刻工藝,需要用到光刻機(jī),7nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝則需要EUV光刻機(jī),目前只有荷蘭ASML公司能生產(chǎn),每臺(tái)售價(jià)超過(guò)1億歐元,可以說(shuō)是半導(dǎo)體行業(yè)的明珠了,是門(mén)檻非常高的先進(jìn)技術(shù)。????今年4月份荷蘭媒體突然重新炒作起2015年的一起ASML泄密案,聲稱(chēng)有6名中國(guó)籍ASML公司員工竊取了ASML的商業(yè)機(jī)密,并將機(jī)密信息賣(mài)給了一家名為XTAL的美國(guó)創(chuàng)業(yè)公司,而后者又獲得過(guò)中國(guó)東方晶源公司
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