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隔空觸覺應用看漲 imec開發(fā)微型超音波數(shù)組技術
- 比利時微電子研究中心(imec),于本周舉行的2022年IEEE國際超音波會議(International Ultrasonics Symposium),展示了新型壓電式微型超音波換能器(pMUT)數(shù)組,它能與平面顯示器(FPD)制程技術兼容。新型數(shù)組可以隔空感測高于1kPa的聲壓,滿足隔空觸覺與指向聲波應用。 (A)包含22個直徑為500μm環(huán)形pMUT的相控數(shù)組大范圍影像(B)細部影像此次開發(fā)的pMUT技術不再聚焦晶圓制程,而是朝向與平面顯示器技術兼容的方向發(fā)展,方便將來與隔空感測應用整合,
- 關鍵字: 隔空觸覺 imec 超音波數(shù)組
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隔空觸覺介紹
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