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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 高能同步輻射光源

高能同步輻射光源文章進入高能同步輻射光源技術社區(qū)

國產光刻機工廠落地雄安？中國電子院澄清：這是北京高能同步輻射光源

近期，一則消息在各大視頻平臺廣為傳播，稱清華大學EUV項目把ASML的光刻機巨大化，實現(xiàn)了光刻機國產化，并表示這個項目已經在雄安新區(qū)落地。對此，中國電子工程設計院有限公司（下稱中國電子院）9月18日發(fā)聲，稱該項目并非網傳的國產光刻機工廠，而是北京高能同步輻射光源項目（HEPS）。北京高能同步輻射光源項目坐落于北京懷柔雁棲湖畔，是國家“十三五”重大科技基礎設施，它是我國第一臺高能量同步輻射光源，也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。該項目早在2019年就開始建設、將于2025年底投入使用。北京高能同步
關鍵字：光刻機高能同步輻射光源

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高能同步輻射光源介紹

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