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	高能離子注入機
          

          
	
          
    	
          
    	  	
          
              	
                                
          
                  

                                
          
                    
          中國高能離子注入機核心技術(shù)難關(guān)得到突破！
          
                                                            
            
                    	
          • 據(jù)“中國電科”報道，國內(nèi)高能離子注入機核心技術(shù)難關(guān)得到突破！由中國電科所屬北京爍科中科信設(shè)備研發(fā)團隊自主研制的國內(nèi)首臺高能離子注入機已順利進駐國內(nèi)先進集成電路大生產(chǎn)線。作為集成電路芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，離子注入機設(shè)備的研制難度極大、研制基礎(chǔ)薄弱，其應(yīng)用也非常廣泛，不僅可以用做大規(guī)模集成電路和器件和半導(dǎo)體材料的離子注入，還能用于金屬材料表面改性和制膜等方面。其中，低能大束流離子注入機被應(yīng)用于制程邏輯、DRAM、3D存儲器和CIS芯片制造中，高能離子注入機則較多應(yīng)用在功率器件、IGBT、5G射頻、CIS、邏輯芯
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          • 關(guān)鍵字：
                        高能離子注入機  中國電科                          
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	共1條
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          高能離子注入機介紹
          
      			
          
		      	
          
		      			      			      	您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條高能離子注入機!
           
		      	歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對高能離子注入機的理解，并與今后在此搜索高能離子注入機的朋友們分享。    創(chuàng)建詞條
		      			      	
          
    		
          
  		
          
  		  		  		  		  		        		  		
          
    		
          
      			
          
        			
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