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6英寸 文章 進(jìn)入6英寸技術(shù)社區(qū)
國(guó)內(nèi)6英寸、8英寸碳化硅襯底片迎來(lái)新進(jìn)展
- 11月4日,晶盛機(jī)電“年產(chǎn)25萬(wàn)片6英寸、5萬(wàn)片8英寸碳化硅襯底片項(xiàng)目”正式簽約啟動(dòng),此舉旨在攻關(guān)半導(dǎo)體材料端關(guān)鍵核心技術(shù),最終實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。據(jù)悉,此次簽約項(xiàng)目總投資達(dá)21.2億元。據(jù)晶盛機(jī)電介紹,公司自2017年開(kāi)始碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備和工藝研發(fā),相繼成功開(kāi)發(fā)6英寸、8英寸碳化硅晶體和襯底片,是國(guó)內(nèi)為數(shù)不多能供應(yīng)8英寸襯底片的企業(yè)。目前,公司已建設(shè)了6-8英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)、切片、拋光中試線(xiàn),6英寸襯底片已通過(guò)多家下游企業(yè)驗(yàn)證,正處于快速上量階段,8英寸襯底片處于小批量試制階段。碳化硅作為第三代半導(dǎo)體代表
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電科材料6英寸碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)化取得重大進(jìn)展
- 近日,電科材料6英寸碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)化工作取得重大進(jìn)展,6英寸中高壓碳化硅外延片月產(chǎn)能力實(shí)現(xiàn)大幅提升。碳化硅外延片,指在碳化硅襯底上生長(zhǎng)了一層有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶薄膜的碳化硅片,是用于制造高性能半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵材料。電科材料持續(xù)布局第三代半導(dǎo)體外延材料研發(fā)生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)一系列技術(shù)突破,在碳化硅外延領(lǐng)域,完成6英寸3300V碳化硅外延材料研發(fā)。同時(shí),積極與國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠(chǎng)商合作開(kāi)發(fā)生產(chǎn)裝備,推動(dòng)碳化硅核心裝備國(guó)產(chǎn)化。未來(lái),電科材料將持續(xù)創(chuàng)新突破,推出更多高端碳化硅材料產(chǎn)品。
- 關(guān)鍵字: 電科材料 6英寸 碳化硅
晶盛機(jī)電已成功生長(zhǎng)出6英寸碳化硅晶體 ??低暿侵匾献骰锇?/a>
- 芯研所消息,自去年下半年以來(lái),全球“缺芯潮”愈演愈烈,作為芯片制造上游的硅片廠(chǎng)家,在宣布漲價(jià)與擴(kuò)產(chǎn)。近日晶盛機(jī)電在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示公司的碳化硅長(zhǎng)晶爐已成功生長(zhǎng)出6英寸碳化硅晶體,同時(shí)8英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)已在研發(fā)中。晶盛機(jī)電表示,近年布局的第三代半導(dǎo)體材料碳化硅的研發(fā)取得關(guān)鍵進(jìn)展,碳化硅外延設(shè)備已通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)證。同時(shí)在碳化硅晶體生長(zhǎng)、切片、拋光環(huán)節(jié)規(guī)劃建立測(cè)試線(xiàn),以實(shí)現(xiàn)裝備和工藝技術(shù)的領(lǐng)先,目前測(cè)試線(xiàn)進(jìn)展順利,設(shè)備分批進(jìn)廠(chǎng)安裝調(diào)試中。據(jù)了解,晶盛機(jī)電公司2016年9月7日發(fā)布的公告,公司于2016年9月6日
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