- 6月24日，三星電子旗下的韓國半導體和顯示器制造設備公司表示，第一臺名為“Omega Prime”的設備已于去年供貨，Semes正在制造第二臺設備。Semes表示，在Omega Prime設備上應用了噴嘴、烘烤溫度和機器人位置自動調整系統(tǒng)，以消除涂布層的偏差。目前，Semes已制造出KrF光刻涂膠/顯影設備，并在此基礎上開發(fā)了ArF版本，以支持波長更短的新型光刻機。
- 關鍵字：
三星 Semes ArF-i 光刻涂膠 顯影設備
- 韓媒報道，全球第一光刻膠大廠日本JSR計劃將在韓國青州建立一條生產用于ArF的光刻膠產線，用于供貨
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日本 JSR ArF
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