archer 文章 進(jìn)入archer技術(shù)社區(qū)
KLA-Tencor 以全新測量系統(tǒng)擴(kuò)充其 5D? 圖型控制方案
- 今天，KLA-Tencor Corporation推出兩款先進(jìn)的量測系統(tǒng)，可支持 16 納米及以下尺寸集成電路器件的開發(fā)和生產(chǎn)：Archer™ 500LCM 和 SpectraFilm™ LD10。Archer 500LCM 套刻測量系統(tǒng)在提升成品率的所有階段提供了準(zhǔn)確的套刻誤差反饋，可幫助芯片制造商解決新的圖型套刻問題，例如多層光刻和隔離層掩膜分割。通過對(duì)薄膜厚度和應(yīng)力進(jìn)行可靠、準(zhǔn)確的測量，SpectraFilm LD10 薄膜測量系統(tǒng)能對(duì) FinFETs、3D NAND 和
- 關(guān)鍵字： KLA-Tencor Archer
| 共1條 1/1 1 |
archer介紹
您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條archer!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對(duì)archer的理解，并與今后在此搜索archer的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對(duì)archer的理解，并與今后在此搜索archer的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
關(guān)于我們 -
廣告服務(wù) -
企業(yè)會(huì)員服務(wù) -
網(wǎng)站地圖 -
聯(lián)系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機(jī)EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號(hào)-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號(hào)-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473