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BluGlass通過RPCVD技術(shù)減少GaN膜生長雜質(zhì)

澳大利亞的BluGlass公司聲稱使用他們的低溫遠(yuǎn)程等離子體化學(xué)氣相沉積（RPCVD）技術(shù)可以產(chǎn)生理想純度的氮化鎵（GaN ...
關(guān)鍵字： BluGlass RPCVD技術(shù) GaN膜生長雜質(zhì)

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