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半導(dǎo)體FTIR外延膜厚量測(cè)設(shè)備實(shí)現(xiàn)新突破！

9月14日，蓋澤華矽半導(dǎo)體科技（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“蓋澤半導(dǎo)體”），兩臺(tái)自主研發(fā)的FTIR膜厚量測(cè)設(shè)備GS-M08X，正式交付兩家客戶作為一款量產(chǎn)設(shè)備，該機(jī)種基于FTIR紅外光譜技術(shù)，可以精準(zhǔn)測(cè)量晶圓中多層外延層的厚度，提供高精度的量測(cè)結(jié)果。設(shè)備裝配了雙臂潔凈機(jī)械手和全新設(shè)計(jì)的Stage平臺(tái)，以及自主研發(fā)的光路系統(tǒng)及算法，能更大程度上兼容客戶應(yīng)用場(chǎng)景，也讓測(cè)量效率大幅度提高。增加了Online在線技術(shù)，遵循SEMI標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，可無(wú)縫連接客戶OHT/MES等系統(tǒng)。同時(shí)，設(shè)備實(shí)現(xiàn)測(cè)量自動(dòng)化控制和自動(dòng)化運(yùn)行
關(guān)鍵字：半導(dǎo)體 FTIR 外延膜厚量測(cè)

本文介紹了多點(diǎn)觸摸控制系統(tǒng)的基本原理，分析了常見(jiàn)的基于光學(xué)感應(yīng)的多點(diǎn)觸摸實(shí)現(xiàn)方案，深入研究了基于Touchlib的多點(diǎn)應(yīng)用系統(tǒng)框架，及其與上層應(yīng)用程序之間的數(shù)據(jù)傳送協(xié)議和方法，并給出了一種基于70寸高清背投電視的大尺寸光學(xué)感應(yīng)多點(diǎn)觸控應(yīng)用系統(tǒng)解決方案。
關(guān)鍵字：康佳多點(diǎn)觸摸 FTIR LLP Touchlib 200909

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