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下一代半導(dǎo)體氧化鎵器件光電探測(cè)器應(yīng)用與測(cè)試

• _____氧化鎵（Ga2O3）探測(cè)器是一種基于超寬禁帶半導(dǎo)體材料的光電探測(cè)器，主要用于日盲紫外光的探測(cè)。其獨(dú)特的物理化學(xué)特性使其在多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中展現(xiàn)出廣泛的前景。探測(cè)器性能由于材料不同、結(jié)構(gòu)不同、制備工藝以及應(yīng)用場(chǎng)景的不同的區(qū)別會(huì)有較大的性能差異。而性能指標(biāo)之間往往存在制約，例如暗電流和輸出電流、靈敏度和響應(yīng)度、可靠性和靈敏度等需要權(quán)衡和折中。對(duì)于性能表征也是如此，高響應(yīng)度一定無法和高精度電流表征同時(shí)進(jìn)行。Tektronix提供了多種性能、架構(gòu)的測(cè)試儀器儀表，滿足探測(cè)器在不同極限維度下測(cè)試的需求。氧化鎵的
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