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          HamaTech接到幾十份MaskTrack Pro設(shè)備訂單
          
                                                            
            
                    	
          • 　　SUSS MicroTec AG的全資子公司HamaTech APE GmbH & Co. KG近日宣布，已接到幾十份MaskTrack Pro設(shè)備訂單。MaskTrack Pro于2009年投產(chǎn)，是用于下一代光刻領(lǐng)域的完整掩膜流程平臺。
　　對于亞22nm 193nm浸沒式光刻、EUVL深紫外光刻、NIL接觸式納米壓印技術(shù)等先進光刻工藝的掩膜版，MaskTrack Pro是目前已知唯一可以實現(xiàn)清洗、烘烤和顯影步驟的設(shè)備。MaskTrack Pro結(jié)合物理和化學(xué)清洗技術(shù)，能有效去除有機和無機
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          • 關(guān)鍵字：
                        HamaTech  光刻                          
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