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國內(nèi)首臺高端LED刻蝕機交付使用

• 　　近日，由北方微電子開發(fā)的ELEDETM330高密度等離子ICP刻蝕機完成組裝調(diào)試，正式交付客戶使用。ELEDETM330是北方微電子半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)在LED領(lǐng)域的成功擴展，該設(shè)備的成功上線，標(biāo)志著國產(chǎn)LED刻蝕設(shè)備已得到主流生產(chǎn)線的認可，使我國高端LED設(shè)備的國產(chǎn)化水平得到了新的提升。 　　北方微電子多年來一直致力于半導(dǎo)體高端工藝裝備的研發(fā)與制造。2009年北方微電子借助半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備領(lǐng)域積累的豐富經(jīng)驗，開發(fā)了專為LED生產(chǎn)領(lǐng)域的刻蝕應(yīng)用而全新設(shè)計的感應(yīng)耦合高密度等離子體刻蝕機。作為我國首臺直接面向L
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