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mems壓力傳感器芯片文章進入mems壓力傳感器芯片技術社區(qū)

上海微系統(tǒng)所聯(lián)合國家重點實驗室，共同研發(fā)全球最小、成本最低MEMS壓力傳感器芯片

近日，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所傳感技術聯(lián)合國家重點實驗室李昕欣老師課題組在 Journal of Micromechanics and Microengineering 期刊上發(fā)表最新的 MEMS 傳感器研究成果——利用無疤痕微創(chuàng)手術（MIS）制造超小型 MEMS 壓力傳感器。
關鍵字：上海微系統(tǒng)所 MEMS壓力傳感器芯片國家重點實驗室

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mems壓力傳感器芯片介紹

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