mems慣性傳感器介紹
MEMS(Micro-Electro-Mechanical SystEMS)是指集機(jī)械元素、微型傳感器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機(jī)電系統(tǒng)。MEMS慣性傳感器可構(gòu)成低成本的INS/ GPS 組合導(dǎo)航系統(tǒng) ,是一類非常適合構(gòu)建微型捷聯(lián)慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的慣性傳感器。MEMS慣性傳感器的突出特點(diǎn)使其在眾多的民用和軍用領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景?! EMS技術(shù)最早由Richa [ 查看詳細(xì) ]
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