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mems諧振器激光測(cè)量量子波
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MEMS諧振器可望消除激光測(cè)量中的細(xì)微量子波動(dòng)
- [導(dǎo)讀]激光測(cè)量技術(shù)可用于實(shí)現(xiàn)一些世界上最精確的測(cè)量?jī)x器，但是，針對(duì)一些最敏感的科學(xué)應(yīng)用時(shí)，必須設(shè)法克服原始激光波形中固有的波動(dòng)。微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）諧振器最近被利用于消除激光中的細(xì)微量子波動(dòng)，從而可望用于實(shí)現(xiàn)新一代超精密的測(cè)量?jī)x器。
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mems諧振器激光測(cè)量量子波介紹
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