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應(yīng)用材料公司推出全新的Mariana刻蝕系統(tǒng)
- 近日，應(yīng)用材料公司推出了新的Applied Centura® Mariana™ Trench Etch系統(tǒng)，這是深槽刻蝕納米制造技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的一次重大飛躍。Mariana是第一個能夠刻蝕80:1長寬比深槽的系統(tǒng)，這個關(guān)鍵性能使客戶可以擴展DRAM電容到70nm技術(shù)節(jié)點。雙頻調(diào)諧功能夠精密控制刻蝕輪廓和臨界尺寸，使刻蝕深度不一致性小于2%。同時，系統(tǒng)獨特的等離子化學反應(yīng)提供了全所未有的硬掩膜選擇性。 應(yīng)用材料公司資深副總裁，刻蝕、清潔、前道和離子注入集團總經(jīng)理Tom St. De
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