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Point 35 Microstructures將氧化物釋放添加到MEMS制造系列

　　全球微機電系統(tǒng)（MEMS）產業(yè)蝕刻和沉積設備供應商Point 35 Microstructures公司，今日在上海宣布推出汽相氧化物釋放蝕刻模塊，進一步擴展其微機電系統(tǒng)(MEMS) 單晶圓制造memsstar?產品系列。這項新增的技術將確保MEMS器件設計師得到更多的生產選擇，同時帶來了寬泛的制造工藝窗口和各種工藝控制等等好處，從而使良率得到了最大的提升。　　SVR-vHF氧化物釋放模塊結合現(xiàn)有的memsstar? SVR-Xe 犧牲性汽相釋放(SVR)模塊，利用無水氫氟蒸汽(aH
關鍵字： Point 35 Microstructures，SVR，MEMS

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