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N2 Purge在LPCVD爐管氮化硅工藝中的應(yīng)用
- 在亞微米的生產(chǎn)制造技術(shù)中，氮化硅工藝的particle已經(jīng)成為產(chǎn)品良率的主要影響因素。本文主要針對立式LPCVD氮...
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