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KLA-TENCOR 推出用于測(cè)量等離子室效應(yīng)的 PLASMAVOLT X2
- KLA-Tencor 公司日前推出了 PlasmaVolt X2，可用于在半導(dǎo)體晶圓處理系統(tǒng)中測(cè)量等離子室的狀況。由于增加了內(nèi)嵌式傳感器數(shù)量，且空間分辨率得到改善，PlasmaVolt X2 對(duì)各種參數(shù)的變化極為敏感，例如無線電頻率 (RF) 功率、氣流、磁場(chǎng)及等離子室設(shè)計(jì)。這種等離子行為測(cè)量和特征化系統(tǒng)能改善生產(chǎn)環(huán)境中的等離子室配對(duì)、機(jī)臺(tái)檢驗(yàn)、系統(tǒng)故障排除及工藝開發(fā)。 KLA-Tencor 的 SensArray 分部高級(jí)副總裁兼總經(jīng)理 Larry Wagner 表示：&ldquo
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