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Picarro宣布用于半導(dǎo)體晶圓廠的氣體分子污染監(jiān)測系統(tǒng)
- Picarro宣布推出經(jīng)我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)——Picarro SAM(取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測Monitor)。該系統(tǒng)由Picarro在業(yè)界領(lǐng)先的基于CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣,而不會(huì)影響傳感器的性能。?新的Picarro SAM系統(tǒng)是從組件產(chǎn)品到系統(tǒng)解決方案的重大轉(zhuǎn)變。一站式的設(shè)計(jì)、制造和測試系統(tǒng)的好處包括:?針對(duì)Picarro硬件和軟件設(shè)計(jì)且完全集成的系統(tǒng)——無集成兼容性問題??Picarro SA
- 關(guān)鍵字： Picarro 半導(dǎo)體晶圓
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