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韓國SK Materials量產(chǎn)高純度氟化氫,加速半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化
- 韓國SK集團17日表示,半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)SK Materials近期開始量產(chǎn)超高純度(純度99.999%)氟化氫氣體。據(jù)韓國國際廣播電臺報道,去年日本對韓國采取出口限制措施后,韓國企業(yè)開始自主生產(chǎn)半導(dǎo)體材料并快速取得成果。韓國SK集團17日表示,半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)SK Materials近期開始量產(chǎn)超高純度(純度99.999%)氟化氫氣體。超高純度氟化氫氣體是日本限制向韓國出口的項目之一,在半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中用于清洗,海外依存度曾達(dá)100%。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。在高純度的氟化氫市場,日本廠商大約
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