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KLA-Tencor發(fā)布全新SURFmonitor系統(tǒng)

KLA-Tencor正式發(fā)布最新 SURFmonitor 系統(tǒng)，該模塊擴展了業(yè)界領先的 Surfscan SP2 無圖形表面檢測系統(tǒng)，超越了傳統(tǒng)的缺陷檢測范圍，具備監(jiān)控工藝變化和偏移的能力。SURFmonitor 系統(tǒng)專門用于測量裸晶片或薄膜表面形態(tài)變化，而這些變化與多種工藝參數(shù)如表面粗糙度、微粒尺寸和溫度等均有關聯(lián)。該系統(tǒng)可在收集缺陷信息的同時，在不到一分鐘時間內生成具備亞埃級重復性的詳細全晶片參數(shù)圖，使代工廠能夠同時監(jiān)控工藝變化和缺陷情況。S
關鍵字：嵌入式系統(tǒng) 單片機 KLA-Tencor SURFmonitor 嵌入式

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