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	tw136706
          

          
	
          
    	
          
    	  	
          
              	
                                
          
                  

                                
          
                    
          中微宣布在泛林對其臺(tái)灣分公司的法律訴訟中獲勝
          
                                                            
            
                    	
          • 　　中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(中微)宣布它們已經(jīng)在由美國泛林科技有限公司(泛林)在臺(tái)灣發(fā)起的針對其臺(tái)灣分公司及其關(guān)聯(lián)企業(yè)的專利侵權(quán)的法律訴訟中獲得了勝利。在昨天剛剛宣布的判決中，臺(tái)灣智慧財(cái)產(chǎn)法院駁回了泛林的訴訟，并認(rèn)定泛林主張?jiān)獾角趾Φ膶＠菬o效的。
　　2009年1月，泛林公司明確聲稱中微公司型號(hào)為 Primo D-RIE 的等離子蝕刻機(jī)侵害它的臺(tái)灣專利 TW136706“電漿反應(yīng)器中之多孔的電漿密封環(huán)”，和 TW126873“于電漿處理室中大量消除未局限電漿之聚焦環(huán)
            • 
                    	                        
          • 關(guān)鍵字：
                        中微  半導(dǎo)體設(shè)備  TW136706                          
            • 
                   	
          
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
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