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KLA-Tencor推出業(yè)內(nèi)首套45納米光掩膜檢測系統(tǒng)TeraScanHR
- KLA-Tencor宣布推出 TeraScanHR 系統(tǒng) – 業(yè)內(nèi)首套新一代 45 納米生產(chǎn)級光掩膜檢測系統(tǒng)。45 納米及以上節(jié)點生產(chǎn)中缺陷尺寸小，并采用極為復(fù)雜的 OPC*，這要求檢測設(shè)備具有極高的分辨率，TeraScanHR 滿足了這一要求，同時大大改進了生產(chǎn)效率，客戶不僅可以獲得 45 納米關(guān)鍵層生產(chǎn)的最高靈敏度，而且還可降低非關(guān)鍵層和芯片生產(chǎn)的單位檢測成本。 “我們新的 TeraScanHR 系統(tǒng)為光掩膜制造商帶來了非凡的新技術(shù)和經(jīng)濟效益，可有效降低多代光掩膜生產(chǎn)的成本，其中包括異常復(fù)
- 關(guān)鍵字： KLA-Tencor TeraScanHR 測量 測試 光掩膜檢測系統(tǒng)
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