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Veeco推出EPIK700 MOCVD系統(tǒng) 加快固態(tài)照明的普及
- 今日，Veeco公司推出了最新的的TurboDisc®EPIK700™氮化鎵(GaN)金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)系統(tǒng)，結(jié)合了該行業(yè)最高的生產(chǎn)率與最佳良率這兩大優(yōu)勢(shì)，運(yùn)營(yíng)成本低，從而進(jìn)一步降低通用照明應(yīng)用的發(fā)光二極管(LED)的制造成本。 EPIK700 MOCVD系統(tǒng)采用了Veeco大生產(chǎn)驗(yàn)證過的TurboDisc技術(shù)，具有行業(yè)內(nèi)最大的反應(yīng)腔，其產(chǎn)能相當(dāng)于目前的其它反應(yīng)腔的兩倍多。反應(yīng)腔的容量增加，再加上腔內(nèi)波長(zhǎng)均勻性以及生產(chǎn)力的提升，與之前的反應(yīng)腔相比，其產(chǎn)量提高了
- 關(guān)鍵字： Veeco 氮化鎵 TurboDisc
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