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諾發(fā)宣布推出VECTOR Extreme™等離子(PECVD)系統(tǒng)
- 諾發(fā)系統(tǒng)有限公司日前宣布推出VECTOR Extreme™等離子增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng) ,該系統(tǒng)每小時的產(chǎn)量高達250片晶圓,是業(yè)界最快的PECVD設備。與市場上的其它系統(tǒng)相比,VECTOR Extreme可使芯片制造商的平均生產(chǎn)周期縮短40%以上。另外,工廠的晶圓庫存也將顯著降低,使客戶能靈活應對半導體市場不斷變化的需求。 消費電子與電腦產(chǎn)品對固態(tài)存儲器的需求不斷增加促使制造DRAM及NAND閃存器件工廠的產(chǎn)能迅速增加。由于典型存儲器件的制造過程需要
- 關鍵字: 諾發(fā) VECTOR Extreme 等離子 消費電子
諾發(fā)推出300mm VECTOR等離子增強化學氣相沉積平臺的最新增強版本
- 中國上?!Z發(fā)系統(tǒng)有限公司正式推出VECTOR Express™新產(chǎn)品。VECTOR Express™是諾發(fā)公司300mm VECTOR等離子增強化學氣相沉積(PECVD)平臺的最新增強版本。VECTOR Express的工藝生產(chǎn)速度提高了40%,保持了業(yè)界領先的生產(chǎn)效率。此外,VECTOR Express還建立了薄膜工藝性能的新標桿,使該設備能夠被延伸到45nm及以下工藝節(jié)點。 VECTOR Express之所以
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