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ASML澄清與中芯國際交易EUV與DUV光刻機一字之差大不同
- 近日，中芯國際與ASML達成12億美元交易購買晶圓生產設備的消息引發(fā)關注。針對雙方此次合作，有媒體報道稱“除了EUV光刻機，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機?！钡沁@一說法很快被ASML官方澄清，該協(xié)議與DUV光刻技術的現(xiàn)有協(xié)議相關?！ 】赡芎芏嗑W友看到這里有點蒙圈，這繞來繞去的到底是玩的什么文字游戲。這里先進行一個小科普，EUV和DUV到底有啥區(qū)別呢？EUV也就是“極深紫外線”的意思，而DUV是“深紫外線”的意思，通過字面就知道EUV看上去就比DUV高級，實際上也是如此?！ SML澄清與中
- 關鍵字： 中芯國際 ASML DUV EUV
Gigaphoton發(fā)布新的DUV光源產品規(guī)劃圖
- 半導體光刻光源的主要供應商Gigaphoton株式會社(母公司：栃木縣小山市，董事長：浦中克己)宣布，為提高設備的工作效率，公司將制定新的產品規(guī)劃圖，以應對需求量不斷高漲的半導體廠家的要求。 Gigaphoton此次制定的產品規(guī)劃圖“RAM Enhancement”加強了DUV光源受激準分子激光器的可靠性(Reliability)、可用性(Availability)以及可維護性(Maintainability)。公司已經開始行動，將在2020年前打破被業(yè)界定位為極限的&l
- 關鍵字： Gigaphoton DUV
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