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半導體商Entegris 推出下一代450mm晶圓承載盒

　　高度先進制造環(huán)境提升產量材料與解決方案的領導廠商Entegris,Inc.，推出了下一代450mm晶圓承載盒解決方案(P2)，這個解決方案能夠安全可靠地運輸半導體制程所需的450mm晶圓，供應至世界各地。450mmP2晶圓承載盒精確符合450mm設備標準、微粒產生量，且可減少清潔循環(huán)時間，可有效運送及處理SEMI?M1標準晶圓。　　Entegris資深執(zhí)行副總兼營運長ToddEdlund表示，當產業(yè)改用450mm晶圓，制造商也須面對處理晶圓的新挑戰(zhàn)，以保持制造SEMI標準M1品質晶圓所需的潔凈度。
關鍵字：半導體 Entegris 晶圓

Entegris 擴展 VaporSorb? 過濾器系列，幫助提高半導體制程的良率

　　Entegris, Inc.，一家為先進制造環(huán)境提供良率提升材料和相關解決方案的領先企業(yè)，日前發(fā)布了 VaporSorb™ 系列氣體分子污染 (AMC) 過濾器的新產品。此款新型的“多合一”單過濾器可在半導體制造的化學機械研磨 (CMP) 工藝中去除關鍵 AMC。領先的過濾器品牌 VaporSorb 在半導體制造的關鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產機臺，是面向 CMP 生產機臺的首款過濾器，可抵御弱酸以及其他污染物。　　此款新型過濾器專為 CMP 機臺設計，可為
關鍵字： Entegris 半導體 VaporSorb

Entegris 發(fā)布新型 VaporSorb? 過濾器

　　Entegris Inc.是一家為先進制造環(huán)境提供良率提升材料和解決方案的領先企業(yè),公司今日發(fā)布了 VaporSorb 系列氣體分子污染 (AMC) 過濾器的衍生產品。VaporSorb 是領先的過濾器品牌，在半導體制造的關鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產機臺。VaporSorb 過濾器已發(fā)展為捕獲氣體有機物、堿基類和強酸的一體式過濾器。新型 VaporSorb TRK 添加了獨特材料，是首款不僅能夠捕獲三大核心污染物，而且還能捕獲第四類污染物(定義為弱酸的一組污染物)的過濾器。　　此款新型過濾器
關鍵字： Entegris VaporSorb 過濾器

Entegris將建立納米技術研制中心

　　Entegris4月12日宣布，將在馬薩諸塞州貝德福德建立專注于先進材料科學的Entegris i2M 中心(以下簡稱“i2M 中心”)。　　該i2M 中心將成為新英格蘭具有領導地位的研發(fā)和制造中心之一，專注于過濾介質、靜電夾鉗(靜電吸盤)和受到專利保護的先進的低溫涂層。這些技術對于研制諸多關鍵部件必不可少，這些部件將用于世界上要求最嚴格的半導體制造業(yè)。Entegris的產品可以將污染物控制在小至只能以原子的寬度進行測量的納米水平。憑借著 Entegris 的產品可以生產先
關鍵字： Entegris 半導體設備

Entegris 在 SEMICON China 上展示晶片和光罩客戶解決方案

　　中國上海/明尼蘇達州明尼阿波利斯 CHASKA – 2006年 3 月 22日訊 - Entegris, Inc.（納斯達克：ENTG）將攜其業(yè)界領先的晶片和光罩處理產品參加本周在上海舉行的 SEMICON China 2006 展覽會（3 月 21 日 – 23 日）。Entegris 將在本周的展會上展示其四種領先的產品，它們分別是 300 毫米 FOSB（前面開口傳輸盒）、Spectra™ FOUP （前面開口一體盒）和 SMP 625 單光罩包裝盒以及高級光罩 SMIF
關鍵字： Entegris 其他IC 制程

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