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          薄晶圓系統(tǒng)提高批量制造超薄晶圓處理能力
          
                                                            
            
                    	
          • 　　基于極其成功的Galaxy印刷設備，得可已利用卓越的精準技術開發(fā)了專門處理超薄晶圓的系統(tǒng)。新的Galaxy薄晶圓系統(tǒng)提供杰出的穩(wěn)定性、工藝能力提高到Cp>2@+/-12.5μm、并擁有先進的速度和加速控制，確保強健地處理當今易損的晶圓產品。
　　Galaxy薄晶圓系統(tǒng)的杰出工藝能力核心是專業(yè)設計的晶圓托盤，提供輸送和加工75微米薄晶圓時正確固定晶圓所需的支撐和穩(wěn)定性。約400毫米見方的得可晶圓托盤，平整度小于10微米，且能容納300毫米大的晶圓。仔細的選擇和多孔材料的使用確保薄晶圓的安全
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          • 關鍵字：
                        Galaxy  晶圓  托盤                          
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          中芯國際和新思科技攜手推出Reference Flow 4.0
          
                                                            
            
                    	
          • 　　全球領先的半導體設計、驗證和制造軟件及知識產權(IP)供應商新思科技公司與中國內地最大的芯片代工企業(yè)中芯國際集成電路制造有限公司日前宣布，將攜手推出全新的65納米RTL-to-GDSII參考設計流程4.0(Reference Flow 4.0)。作為新思科技專業(yè)化服務部與中芯國際共同開發(fā)的成果，該參考流程中增加了 Synopsys Eclypse™ 低功耗解決方案及IC Compiler Zroute布線技術，為設計人員解決更精細工藝節(jié)點中遇到的低功耗和可制造性設計(DFM)等問題提供更多
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          • 關鍵字：
                        中芯國際  65納米  Galaxy  RTL-to-GDSII參考設計流程4.0                          
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