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ixh500h 文章進入ixh500h技術(shù)社區(qū)

Edwards推出新型iXH500H干泵系列

全球領(lǐng)先的真空和尾氣處理設(shè)備及服務(wù)供應商Edwards公司擴展其廣受歡迎的應用于嚴苛工藝的iXH產(chǎn)品系列，最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列針對需要較高氣體流量和靈活泵溫范圍的平板顯示器、太陽能和先進半導體工藝而優(yōu)化，具有較低的能耗和較長的平均維護間隔時間(mean time between servicing， MTBS)，從而顯著降低了擁有成本，同時具備iXH450系列的小占位面積和氫氣抽取能力。
關(guān)鍵字： Edwards 半導體 iXH500H

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ixh500h介紹

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