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面向CMUT陣元的阻抗匹配設(shè)計與聲場特性測試

電容式微機(jī)械超聲換能器（CMUT）是利用MEMS微加工技術(shù)制作的超聲換能器，具有低聲阻抗、寬帶寬、體積小等優(yōu)點。然而，相比于壓電式超聲換能器，CMUT存在發(fā)射靈敏度較低、輸出聲壓不夠高等問題。據(jù)麥姆斯咨詢報道，為了解決CMUT聲發(fā)射能力弱、輸出聲壓低的問題，中北大學(xué)研究人員根據(jù)CMUT工作原理與阻抗匹配理論設(shè)計了匹配電路，實現(xiàn)信號源端到CMUT的最大功率傳遞，以此提升CMUT的聲發(fā)射性能，為CMUT的實際應(yīng)用提供解決方案。相關(guān)研究成果已發(fā)表于《傳感器與微系統(tǒng)》期刊。單個CMUT陣元由許多CMUT微元構(gòu)成，
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Pickering推出新款基于MEMS的射頻開關(guān)模塊

與Menlo Microsystems的合作將新的開關(guān)技術(shù)引入PXI射頻多路復(fù)用開關(guān)，以顯著地提高性能。2023年6月26日，于英國Clacton-on-sea。Pickering Interfaces公司作為生產(chǎn)用于電子測試及驗證領(lǐng)域的信號開關(guān)與仿真解決方案的主要廠商，于今日發(fā)布了一款采用新的開關(guān)技術(shù)的PXI/PXIe射頻多路復(fù)用開關(guān)模塊新產(chǎn)品。新款基于MEMS的射頻多路復(fù)用開關(guān)是無線通訊和半導(dǎo)體測試的理想選擇，與傳統(tǒng) EMR（電磁繼電器）開關(guān)相比，操作壽命大大延長（高達(dá)300倍）、切換速度更快（高達(dá)6
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意法半導(dǎo)體推出業(yè)內(nèi)首個MEMS防水壓力傳感器

■ 1260 hPa和4060 hPa雙量程絕對壓力氣壓計，數(shù)字輸出，Qvar?檢測技術(shù)，防水封裝■ 測量精度高，耐候性出色，適用于燃?xì)獗怼⑺?、天氣監(jiān)測、空調(diào)和家用電器2023年6月13日，中國 – 服務(wù)多重電子應(yīng)用領(lǐng)域、全球排名前列的半導(dǎo)體公司意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics，簡稱ST；紐約證券交易所代碼:STM)在工業(yè)市場上推出了首款 MEMS 防水/防液絕對壓力傳感器，納入十年供貨保證計劃。意法半導(dǎo)體 AMS MEMS 子產(chǎn)品部總經(jīng)理 Simone Ferri
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電容式MEMS壓力傳感器的優(yōu)化設(shè)計

由于MEMS壓力傳感器的制作過程中存在著許多不可控因素，例如，制備環(huán)境、工藝誤差、設(shè)備誤差等，因此，整個MEMS壓力傳感器的穩(wěn)健優(yōu)化設(shè)計是極其重要的。本文對電容式MEMS壓力傳感器進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計，以期為后續(xù)研究開發(fā)電容式MEMS壓力傳感器奠定必要的基礎(chǔ)依據(jù)。
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創(chuàng)新的60 GHz雷達(dá)傳感器，實現(xiàn)非接觸式監(jiān)測心跳和呼吸頻率等生命體征

據(jù)麥姆斯咨詢報道，使用雷達(dá)傳感器監(jiān)測生命體征的研究已經(jīng)進(jìn)行了幾十年。該技術(shù)能夠?qū)π奶秃粑l率進(jìn)行持續(xù)的非接觸式監(jiān)測，并具有低功耗和小PCB尺寸的優(yōu)勢。憑借創(chuàng)新的60 GHz雷達(dá)傳感器，其在消費電子產(chǎn)品中的應(yīng)用正在成為現(xiàn)實。在老齡化社會中，健康監(jiān)測將發(fā)揮越來越重要的作用。健康問題最好能在早期階段被發(fā)現(xiàn)，從而避免住院或至少盡可能縮短住院時間。人們希望在自己熟悉的環(huán)境中過著自主和獨立的生活，直到晚年。此外，年輕人對更加個性化和自主的醫(yī)療服務(wù)感興趣。通過隨時監(jiān)測健康狀態(tài)，人們有可能在早期發(fā)現(xiàn)疾病和精神壓力并采取
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芯片溫度檢測，什么方法最有效？

下面幾種測溫方法，都不能完全適用于芯片各環(huán)節(jié)的溫度檢測，那么，如何才能實現(xiàn)精準(zhǔn)高效測溫？芯片溫度檢測，你都知道哪些方法？● 使用熱電偶測量（接觸式測溫，易產(chǎn)生誤差）● 參照經(jīng)典的結(jié)溫方程（TJ = TA + PD?JA ）計算溫度（相對保守，與實際溫度差別較大）● 利用二極管作為溫度傳感器來檢測（只適用于某些特定情況）紅外熱像儀是一種非接觸的測溫儀器，可以通過對物體表面的熱（溫度）進(jìn)行分布成像與分析，直接“看見”芯片的溫度分布。芯片熱
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如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測中的振動檢測

狀態(tài)監(jiān)測是當(dāng)今使用機(jī)械設(shè)施和技術(shù)系統(tǒng)（例如使用電機(jī)、發(fā)電機(jī)和齒輪）的核心挑戰(zhàn)之一。計劃維護(hù)對于最大限度地降低生產(chǎn)停機(jī)風(fēng)險變得越來越重要，不僅在工業(yè)領(lǐng)域，而且在使用機(jī)器的任何地方。除此之外，還分析了機(jī)器的振動模式。狀態(tài)監(jiān)測是當(dāng)今使用機(jī)械設(shè)施和技術(shù)系統(tǒng)（例如使用電機(jī)、發(fā)電機(jī)和齒輪）的核心挑戰(zhàn)之一。計劃維護(hù)對于最大限度地降低生產(chǎn)停機(jī)風(fēng)險變得越來越重要，不僅在工業(yè)領(lǐng)域，而且在使用機(jī)器的任何地方。除此之外，還分析了機(jī)器的振動模式。齒輪箱引起的振動通常在頻域中被感知為軸速度的倍數(shù)。不同頻率的不規(guī)則性表明零件磨損、不平
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松下汽車類6軸單芯片MEMS慣性傳感器，提高車載系統(tǒng)的安全性和舒適性

據(jù)麥姆斯咨詢介紹，在當(dāng)下的“萬物電氣化（electrification of everything）”時代，傳感器已成為一個必不可少的先決條件：汽車、巴士、摩托車、無人送貨車、建筑機(jī)械和許多其它車輛配備越來越多的傳感器，以實現(xiàn)安全且舒適的輔助駕駛/自動駕駛。全面的感知能力對于支持運(yùn)動檢測、定位、導(dǎo)航、數(shù)據(jù)融合等許多用途至關(guān)重要。為此，松下機(jī)電（Panasonic Industry）開發(fā)出汽車類6軸MEMS慣性傳感器系列，即MEMS慣性測量單元（IMU），該系列產(chǎn)品通過單芯片解決方案面向車載領(lǐng)域的功能安全（
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基于硅納米波導(dǎo)倏逝場耦合的超緊湊光學(xué)式MEMS加速度計

近些年，MEMS加速度計因其體積小、功耗低、易于與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關(guān)注。目前已經(jīng)開發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學(xué)等原理的加速度計，以檢測輸入加速度引起的檢測質(zhì)量塊位移。在這些技術(shù)中，光學(xué)方案已被證明具有更高的精度和穩(wěn)定性，并且不會受到電磁干擾（EMI）。近些年，MEMS加速度計因其體積小、功耗低、易于與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關(guān)注。目前已經(jīng)開發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學(xué)等原理的加速度計，以檢測輸入加速度引起的檢測質(zhì)量塊位
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微流控電阻抗檢測系統(tǒng)，用于細(xì)胞無標(biāo)記即時檢測

基于電阻抗的細(xì)胞分析是一種無標(biāo)記、非侵入性技術(shù)，已廣泛用于分析和識別各種應(yīng)用中的細(xì)胞特征，如組織培養(yǎng)、細(xì)胞生長及活力檢測等。微流控技術(shù)能夠?qū)⑸婕皹悠分苽?、操作和基于阻抗檢測的分析過程集成到單片芯片上，最大限度地減少系統(tǒng)尺寸、重量。據(jù)麥姆斯咨詢報道，近期，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究人員于《功能材料與器件學(xué)報》發(fā)表論文，搭建了一種簡便的微流控電阻抗檢測系統(tǒng)，可根據(jù)電學(xué)差異對體積相近的不同微粒進(jìn)行區(qū)分，具有成本低、易集成、非標(biāo)記等優(yōu)勢，未來可進(jìn)一步用于現(xiàn)場細(xì)胞即時檢測。微流控芯片的設(shè)計與制作采用
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慣性傳感器+類卡爾曼誤差補(bǔ)償，預(yù)測AR/VR設(shè)備方向

增強(qiáng)現(xiàn)實（AR）和虛擬現(xiàn)實（VR）技術(shù)近年在產(chǎn)業(yè)界和學(xué)術(shù)界吸引了極高的關(guān)注度，它們豐富了現(xiàn)實世界環(huán)境，或用模擬環(huán)境替代現(xiàn)實世界。然而，AR/VR設(shè)備存在的端到端延遲會嚴(yán)重影響用戶體驗。尤其是動顯延遲（Motion-to-photons latency，定義為從用戶發(fā)生動作到該動作觸發(fā)的反饋顯示在屏幕上所需要的時間），它是限制AR/VR應(yīng)用的主要挑戰(zhàn)之一。例如，動顯延遲高于20 ms就會導(dǎo)致用戶惡心或眩暈。因此，減少動顯延遲對于改善用戶的虛擬體驗至關(guān)重要。減少動顯延遲的一種常見方法是通過預(yù)判用戶的移動來預(yù)測
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睿感（ScioSense）推出基于CMOS-MEMS工藝的單芯片壓力傳感器

荷蘭埃因霍溫，中國濟(jì)南，2022年11月15日——業(yè)界領(lǐng)先的環(huán)境和高精度流量和時間測量傳感芯片廠商睿感（ScioSense）今日宣布，推出采用緊湊型封裝的內(nèi)置溫度傳感器的超低功耗壓力傳感器--ENS220，可提供卓越的測量速度、分辨率和精度。 ENS220將在慕尼黑電子展（electronica，11月15-18日慕尼黑）B3.419號ScioSense展臺展出。該傳感器采用業(yè)界主流的2.0mm×2.0mm尺寸LGA封裝，適用于移動設(shè)備和可穿戴設(shè)備，如智能手表和腕帶、GPS導(dǎo)航系
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基于紅外熱釋電效應(yīng)的微型NDIR CO2傳感器，可在不同溫度、濃度下精確測量

據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，中北大學(xué)譚秋林教授團(tuán)隊在《中國激光》期刊上發(fā)表了題為“雙通道非分光紅外CO2氣體傳感器設(shè)計與測試”的最新論文，文中設(shè)計實現(xiàn)了一種微型雙通道非分光紅外（NDIR）CO2氣體傳感器，采用標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度標(biāo)定傳感器的方法，實現(xiàn)了傳感器的溫度補(bǔ)償，使其能夠在不同溫度與不同濃度的環(huán)境下進(jìn)行精確測量?；诩t外吸收原理的氣體傳感器具有選擇性高的突出優(yōu)勢，但面臨集成度不高、尺寸大、精度低以及核心部件依賴進(jìn)口等問題。國內(nèi)目前普遍采用進(jìn)口傳感器，或者購入半成品二次加工。近年來，在各大研究機(jī)構(gòu)與高校的努力下
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基于傳感器內(nèi)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的模擬-信息轉(zhuǎn)換技術(shù)，可顯著降低傳感器功耗

據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，亞利桑那州立大學(xué)（Arizona State University）介紹了一種片上模擬-信息轉(zhuǎn)換技術(shù)，該技術(shù)利用基于儲層計算范式的模擬超維計算，在本地傳感器內(nèi)處理心電圖（electrocardiograph，ECG）信號，并將射頻（RF）傳輸減少三個數(shù)量級以上。片上模擬-信息轉(zhuǎn)換器不是傳輸稀疏的ECG信號或提取的特征，而是通過一個附有人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的非線性存儲內(nèi)核來分析ECG信號，并傳輸預(yù)測結(jié)果。所開發(fā)的技術(shù)被證明可用于檢測敗血癥發(fā)作，并實現(xiàn)了超高的準(zhǔn)確度和能效，同時使用65nm C
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基于三重采樣Δ-Σ ADC的數(shù)字電容式MEMS麥克風(fēng)，可有效提高信噪比

據(jù)麥姆斯咨詢報道，近期，韓國首爾國立大學(xué)（Seoul National University）開發(fā)了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC的數(shù)字電容式MEMS麥克風(fēng)，其中的讀出電路采用0.18μm CMOS工藝制造，面積為0.98mm2，在94dBSPL、520μA電流消耗下，A加權(quán)信噪比（SNR）為62.1dBA，三重采樣可提高4.5dBA的信噪比。MEMS麥克風(fēng)已經(jīng)成為智能手機(jī)和平板電腦的標(biāo)配，也廣泛應(yīng)用于汽車和醫(yī)療設(shè)備中。與駐極體電容式麥克風(fēng)（ECM）相比，MEMS麥克風(fēng)更易于集成、更可保證性能一致性且尺寸
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