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MEMS固態(tài)風速風向傳感器的設計與制作
- 1 引言 風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風向。超聲測風儀可以同時進行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應測量風速，用三個或者四個探頭根據(jù)三角關系測量風向信息。基于MEMS技術傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術的風速和風向測量傳感器受到了研究者的重視。 本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風速風
- 關鍵字： MEMS
MEMS傳感器進駐汽車發(fā)動機
- 近年來，從半導體集成電路(IC)技術發(fā)展而來的MEMS (微電子機械系統(tǒng))技術日漸成熟。利用這一技術可以制作各種性能敏感的力學量、磁學量、熱學量、化學量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術 20世紀80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應用的微型傳感器。然而微型傳感器的
- 關鍵字： MEMS 傳感器
MEMS機油壓力傳感器可靠性研究
- 1 引言 MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來的高新技術，用MEMS技術研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機電技術的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機機油壓力傳
- 關鍵字： MEMS 傳感器
汽車MEMS傳感器應用及發(fā)展
- 摘要：本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器的應用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結構，同時對該領域的產(chǎn)業(yè)化也進行了探討。 關鍵詞：汽車傳感器、微機電系統(tǒng)、力敏器件。 一、引言 MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質量輕、響應快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
- 關鍵字： MEMS 傳感器
飛思卡爾建成先進的200-mm MEMS生產(chǎn)線
- 飛思卡爾半導體建成先進的微機電系統(tǒng)(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產(chǎn)線是在飛思卡爾設在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對公司在日本仙臺的現(xiàn)有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線的補充。 隨著MEMS傳感器市場的持續(xù)增長，大批量MEMS生產(chǎn)技術仍顯得至關重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實現(xiàn)全面的傳感、控制、連接
- 關鍵字： 飛思卡爾 半導體 MEMS MCU和嵌入式微處理器
市場分析：大陸傳感器產(chǎn)業(yè)面臨新發(fā)展
- 中國傳感器近年來，通過技術引進與改造，中國大陸敏感元件及傳感器業(yè)已形成一定的產(chǎn)業(yè)基礎與生產(chǎn)能力，MEMS等5項新型傳感器已列入研究開發(fā)的重點。據(jù)信息產(chǎn)業(yè)部科技情報研究所編制的《2006～2007年中國電子廠商名錄》統(tǒng)計，目前中國大陸有455個從事敏感元件及傳感器生產(chǎn)的廠商，所涉及企業(yè)多達1,400多家，呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢，但綜合實力較強的骨干企業(yè)較少。目前，能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類，約3,000多個品種。據(jù)中國電子元件協(xié)會統(tǒng)計，2006年中國大陸傳感器產(chǎn)品
- 關鍵字： 傳感器 MEMS 傳感器 執(zhí)行器
高通公司為韓國KTF提供低功耗顯示技術
- 美國高通公司的全資子公司高通MEMS技術有限公司今天宣布，韓國KT Freetel(KTF)公司宣布選擇高通公司基于MEMS的 mirasol ™顯示技術用于其SHOW WCDMA監(jiān)控系統(tǒng)。KTF是韓國最大的電信運營商之一，也是韓國首家WCDMA無線運營商。KTF公司和高通公司將在2008年國際消費電子展的高通公司合作伙伴展區(qū)(南3號館，展位號30340)上展示該SHOW監(jiān)控系統(tǒng)。 KTF的SHOW監(jiān)控系統(tǒng)利用3G WCDMA將SHOW攝像裝置拍攝的實況視頻傳輸?shù)街付ǖ囊苿与娫?，是進
- 關鍵字： 高通 MEMS KTF 音視頻技術
新型傳感器研發(fā)呈現(xiàn)的五大特點
- 當今世界發(fā)達國家對傳感器技術發(fā)展極為重視，視為涉及國家安全、經(jīng)濟發(fā)展和科技進步的關鍵技術之一，將其列入國家科技發(fā)展戰(zhàn)略計劃之中。因此，近年來傳感技術迅速發(fā)展，傳感器新原理、新材料和新技術的研究更加深入、廣泛，傳感器新品種、新結構、新應用不斷涌現(xiàn)、層出不窮。 微型化速度加快 值得特別關注的是近年來隨著集成微電子機械加工技術的日趨成熟，傳感器制作技術進入了一個展新階段。微電子技術和微機械技術相結合，器件結構從二維到三維，實現(xiàn)進一步微型化、微功耗，并研究把傳感器送入人體，進入血管，研究稱分子的重
- 關鍵字： 傳感器 MEMS 芯片 傳感器
加速度計與MEMS明日之星
- 微機電系統(tǒng)(MEMS)在發(fā)展了近四十年后，近來因為游戲機(Wii、PS3)、手機(iPhone)、MP3(iPod touch)等消費性電子產(chǎn)品的應用，終于劃下時代性的一刻，成功打入產(chǎn)量最大的消費性市場。這對于微機電產(chǎn)業(yè)來說無疑是值得慶賀的時刻，因為有太多的研發(fā)心力已投入這項將微機械與微電子工程融合的微機電設計訴求之上，如今總算看到令人欣慰的一些成果。 當然，這仍然只是MEMS進軍更廣泛市場的一個開端，打開這個市場的功臣即是加速度計(accelerometer)。在本文中將會對加速度計的技術及應
- 關鍵字： 0712_A 雜志_技術長廊 MEMS 微機電系統(tǒng) 嵌入式
ST 4 x 4mm模擬輸出加速計自由度更高
- 世界領先的微機電系統(tǒng)（MEMS）器件供應商意法半導體（紐約證券交易所代碼：STM）今天公布一個新的三軸模擬輸出傳感器解決方案，進一步加強了該公司的尺寸極小的“低g”線性加速計的產(chǎn)品陣容。新產(chǎn)品LIS344AL是一個注重成本的MEMS解決方案，在電路板上的占位面積非常小，功耗低，特別適合電池供電和空間受限制的便攜設備，如手機、便攜媒體播放器、PDA或遙控器。 新產(chǎn)品在一個封裝內整合了一個強健的三軸MEMS傳感器和一個CMOS接口芯片，不論設備的方位如何，三軸傳感功能都能提供傾斜和運動的信息。 LIS344A
- 關鍵字： ST 模擬輸出加速計 MEMS 消費電子 消費電子
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