mems(微電子機械系統(tǒng)) 文章 進入mems(微電子機械系統(tǒng))技術社區(qū)
基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計
- 在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數(shù)對于魚類仿生推進機理研究及工程應用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數(shù)的觀測方法。這種方法受到環(huán)境與設備的限制，結果精確度較差。本設計是一種基于MEMS器件的生物運動微慣性測量裝置。利用該裝置實現(xiàn)了對SPC-III機器魚尾鰭拍動參數(shù)的精確測量，為國內首次利用MEMS器件進行的活體魚尾鰭拍動參數(shù)測量實驗打下了基礎，為機器魚仿生推進設計理論提供支撐。 1 設計要求和系統(tǒng)結構 根據(jù)活體魚類的生物特征和實驗本身的特
- 關鍵字： ARM MEMS
閃耀光柵數(shù)字微鏡的結構設計與驅動仿真
- 基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術是一種全新的顯示技術, 它的基本工作原理為：平行的復合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅動電路驅動每個像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見波長的光線經(jīng)過成像鏡頭后形成彩色畫面。 微鏡結構設計的基本要求 閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術的核心部件是閃耀光柵數(shù)字微鏡。要達到便攜應用和投影應用的目的，閃耀光柵數(shù)字微鏡結構設計需滿足以下基本要求。 盡可能減小顯示單元的尺寸 為了得到準確的基色，要求
- 關鍵字： MEMS 閃耀光柵數(shù)字微鏡 結構 驅動
MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
- 1 引言 大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結構更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
- 關鍵字： MEMS
MEMS固態(tài)風速風向傳感器的設計與制作
- 1 引言 風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風向。超聲測風儀可以同時進行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應測量風速，用三個或者四個探頭根據(jù)三角關系測量風向信息?；贛EMS技術傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術的風速和風向測量傳感器受到了研究者的重視。 本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風速風
- 關鍵字： MEMS
MEMS傳感器進駐汽車發(fā)動機
- 近年來，從半導體集成電路(IC)技術發(fā)展而來的MEMS (微電子機械系統(tǒng))技術日漸成熟。利用這一技術可以制作各種性能敏感的力學量、磁學量、熱學量、化學量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術 20世紀80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應用的微型傳感器。然而微型傳感器的
- 關鍵字： MEMS 傳感器
MEMS機油壓力傳感器可靠性研究
- 1 引言 MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來的高新技術，用MEMS技術研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機電技術的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機機油壓力傳
- 關鍵字： MEMS 傳感器
汽車MEMS傳感器應用及發(fā)展
- 摘要：本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器的應用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結構，同時對該領域的產(chǎn)業(yè)化也進行了探討。 關鍵詞：汽車傳感器、微機電系統(tǒng)、力敏器件。 一、引言 MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質量輕、響應快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
- 關鍵字： MEMS 傳感器
飛思卡爾建成先進的200-mm MEMS生產(chǎn)線
- 飛思卡爾半導體建成先進的微機電系統(tǒng)(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產(chǎn)線是在飛思卡爾設在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對公司在日本仙臺的現(xiàn)有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線的補充。 隨著MEMS傳感器市場的持續(xù)增長，大批量MEMS生產(chǎn)技術仍顯得至關重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實現(xiàn)全面的傳感、控制、連接
- 關鍵字： 飛思卡爾 半導體 MEMS MCU和嵌入式微處理器
mems(微電子機械系統(tǒng))介紹
您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條mems(微電子機械系統(tǒng))!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對mems(微電子機械系統(tǒng))的理解，并與今后在此搜索mems(微電子機械系統(tǒng))的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對mems(微電子機械系統(tǒng))的理解，并與今后在此搜索mems(微電子機械系統(tǒng))的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
mems(微電子機械系統(tǒng))電路
mems(微電子機械系統(tǒng))相關帖子
mems(微電子機械系統(tǒng))資料下載
mems(微電子機械系統(tǒng))專欄文章
關于我們 -
廣告服務 -
企業(yè)會員服務 -
網(wǎng)站地圖 -
聯(lián)系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權所有 北京東曉國際技術信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權所有 北京東曉國際技術信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473