mems傳感器介紹
MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分,它是在融合多種微細加工技術,并應用現代信息技術的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。
MEMS技術的發(fā)展開辟了一個全新的技術領域和產業(yè),采用MEMS技術制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構件、微機械光 [
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