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          N2 Purge在LPCVD爐管氮化硅工藝中的應(yīng)用
          
                                                            
            
                    	
          • 在亞微米的生產(chǎn)制造技術(shù)中，氮化硅工藝的particle已經(jīng)成為產(chǎn)品良率的主要影響因素。本文主要針對立式LPCVD氮...
            • 
                    	                        
          • 關(guān)鍵字：
                        N2  purge  氮化硅生產(chǎn)  Particle問題                          
            • 
                   	
          
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
	共1條
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