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          半導(dǎo)體FTIR外延膜厚量測(cè)設(shè)備實(shí)現(xiàn)新突破!

          • 9月14日,蓋澤華矽半導(dǎo)體科技(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“蓋澤半導(dǎo)體”),兩臺(tái)自主研發(fā)的FTIR膜厚量測(cè)設(shè)備GS-M08X,正式交付兩家客戶作為一款量產(chǎn)設(shè)備,該機(jī)種基于FTIR紅外光譜技術(shù),可以精準(zhǔn)測(cè)量晶圓中多層外延層的厚度,提供高精度的量測(cè)結(jié)果。設(shè)備裝配了雙臂潔凈機(jī)械手和全新設(shè)計(jì)的Stage平臺(tái),以及自主研發(fā)的光路系統(tǒng)及算法,能更大程度上兼容客戶應(yīng)用場(chǎng)景,也讓測(cè)量效率大幅度提高。增加了Online在線技術(shù),遵循SEMI標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,可無(wú)縫連接客戶OHT/MES等系統(tǒng)。同時(shí),設(shè)備實(shí)現(xiàn)測(cè)量自動(dòng)化控制和自動(dòng)化運(yùn)行
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          外延膜厚介紹

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