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美國材料信息學會和日立國際電氣簽署原子層沉積技術授權協(xié)議

　　美國材料信息學會(ASM International)與日立國際電氣(Hitachi Kokusai Electric Inc.，東京證券交易所(一部)和大阪證券交易所(一部))宣布，雙方已簽署一項授權協(xié)議。根據此項協(xié)議，美國材料信息學會將把原子層沉積技術專利在批次式原子層沉積領域的使用權授予日立國際電氣。協(xié)議的詳細條款未對外披露。　　多年來，美國材料信息學會一直是原子層沉積領域的先驅，擁有大量專利，包括原子層沉積專利以及在豎爐中成批實施原子層沉積的技術專利。這一技術使得在豎爐中實施原子層沉積并同
關鍵字：消費電子日立大阪原子層消費電子

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