深紫外 文章 進(jìn)入深紫外技術(shù)社區(qū)
中微公司發(fā)布用于深紫外LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備Prismo HiT3
- 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）今日宣布推出Prismo HiT3TM MOCVD設(shè)備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。中微Prismo系列MOCVD設(shè)備目前已進(jìn)入全球大多數(shù)領(lǐng)先的藍(lán)綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3TM是中微Prismo系列MOCVD設(shè)備的最新產(chǎn)品。該設(shè)備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關(guān)鍵設(shè)備，反應(yīng)腔最高溫度可達(dá)1400度，具有優(yōu)異的工藝重復(fù)性、均勻性和低缺陷率。該設(shè)備同時也為高產(chǎn)量而設(shè)計，單爐可生長18片2英寸
- 關(guān)鍵字： 中微公司 深紫外 LED MOCVD
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