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盛美文章進(jìn)入盛美技術(shù)社區(qū)

盛美獲兩臺(tái)背面清洗機(jī)訂單

盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司日前在 Semicon China上宣布了2013年第一季度一舉獲得兩臺(tái)單片背面清洗機(jī)訂單，分別來(lái)自上海華虹 NEC 電子有限公司以及中科院微電子所。這兩臺(tái)背面清洗機(jī)的訂單，反映了盛美在技術(shù)上不斷推陳出新，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)單片背面清洗機(jī)的空白。通過(guò)技術(shù)上的不斷創(chuàng)新，提高了公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。
關(guān)鍵字：盛美單片背面清洗機(jī) 晶圓

我國(guó)研發(fā)出“零損傷”兆聲波半導(dǎo)體清洗設(shè)備

　　盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司3月17日在上海舉行的中國(guó)半導(dǎo)體國(guó)際展上展出一臺(tái)12英寸單片兆聲波清洗設(shè)備。這是國(guó)內(nèi)首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的“零損傷”兆聲波半導(dǎo)體清洗設(shè)備。
關(guān)鍵字：盛美半導(dǎo)體兆聲波

盛美半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)出12英寸單片兆聲波清洗設(shè)備

　　3月17日，新成立的盛美半導(dǎo)體(上海)有限公司在中國(guó)半導(dǎo)體國(guó)際展上展出了十二英寸單片兆聲波清洗設(shè)備，本設(shè)備用于65nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)以下的十二英寸高端硅片清洗。盛美獨(dú)家具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)技術(shù)可使兆聲波能量在12英寸硅片上非常均勻地分布(非均勻度的一個(gè)均方差小于2%)，本技術(shù)在不損傷硅片微結(jié)構(gòu)的條件下使顆粒去除效率達(dá)到99.2%。
關(guān)鍵字：盛美半導(dǎo)體

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