石墨薄膜 文章 進(jìn)入石墨薄膜技術(shù)社區(qū)
速度提升百倍 美科學(xué)家在4英寸基體上制成石墨薄膜
- 美國賓夕法尼亞州立大學(xué)光電材料中心(Electro-Optics Center Materials Division:EOC)的研究人員最近成功地在4英寸(100mm)大小的基體上制成了石墨薄膜,這種石墨薄膜是由碳原子組成的平面薄膜,薄膜的厚度極薄,只有1-2個碳原子的厚度,相比傳統(tǒng)外延生長出來的硅膜,石墨薄膜內(nèi)部的碳原子組織結(jié)構(gòu)能夠極大地提高電路的電性能,電路的運(yùn)行速度可達(dá)硅電路 的100倍。 由于在硅基體上直接生成石墨薄膜時,很難保證薄膜內(nèi)部碳原子結(jié)構(gòu)的一致性,因此過去科學(xué)家制造石墨電路的方
- 關(guān)鍵字: 硅電路 石墨薄膜 硅升華
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石墨薄膜介紹
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