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我首條石英玻璃基板成套生產(chǎn)線建成
- 近日從中國建筑材料科學(xué)研究總院(以下簡稱建材總院)獲悉，基于光刻用石英玻璃基板(以下簡稱石英玻璃基板)綠色制造技術(shù)，建材總院石英院在衢州建立了國內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長期依賴進口的局面。 該生產(chǎn)線的建立，是建材總院承擔(dān)的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。 玻璃基板是
- 關(guān)鍵字： 石英玻璃基板 晶圓
我首條石英玻璃基板成套生產(chǎn)線建成
- 近日從中國建筑材料科學(xué)研究總院(以下簡稱建材總院)獲悉，基于光刻用石英玻璃基板(以下簡稱石英玻璃基板)綠色制造技術(shù)，建材總院石英院在衢州建立了國 內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長期依賴進口的局 面。 該生產(chǎn)線的建立，是建材總院承擔(dān)的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。 玻璃基
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石英玻璃基板介紹
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