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硅化物文章進入硅化物技術社區

FSI國際宣布在硅化物形成步驟中的金屬剝離技術取得突破

　　FSI 國際有限公司宣布已成功地采用FSI ViPR™技術在自對準多晶硅化物形成后去除了未反應的金屬薄膜。通過實現這一新的工藝，IC制造商可以在鈷、鎳和鎳鉑硅化物集成過程中，大幅度減少化學品的使用和降低對資金的要求。新訂購的FSI ZETA® Spray Cleaning System噴霧式清洗系統中已經采用了FSI ViPR™技術，并將用于升級最近已經在生產現場安裝的系統。　　鎳鉑硅化物最早應用于65nm邏輯器件，因為它的阻抗更低，從而可實現器件性能的大幅改善。但
關鍵字： FSI 硅化物邏輯器件嵌入式

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硅化物介紹

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