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          硅基mems 文章 進入硅基mems技術社區

          硅基MEMS制造技術分析

          •   上海硅知識產權交易中心   MEMS(微電子機械系統)技術是一種使產品集成化、微型化、智能化的微型機電系統。在半導體集成電路技術之上發展起來的硅基MEMS制造技術目前使用十分廣泛。   
          • 關鍵字: Honeywell  硅基MEMS  
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          硅基mems介紹

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