硅烷 文章 進(jìn)入硅烷技術(shù)社區(qū)

中國芯片原材料重大突破：高純度硅烷實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)

• 　　12月21日，《中國科學(xué)報(bào)》報(bào)道，上海交通大學(xué)教授肖文德領(lǐng)銜研發(fā)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的硅烷大規(guī)模生產(chǎn)新技術(shù)600噸/年中試生產(chǎn)項(xiàng)目，在河南平煤神馬集團(tuán)試車成功，并已連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)出純度大于99.9999%的高品質(zhì)硅烷產(chǎn)品。該項(xiàng)目的成功標(biāo)志著高純度硅烷大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)獲得突破。 　　據(jù)了解，我國電子和大規(guī)模集成電路行業(yè)的芯片進(jìn)口總額去年高達(dá)2300億美元。其中，一個(gè)重要原因是缺乏高純度晶體硅材料，而生產(chǎn)高純晶體硅必須以高純硅烷為基礎(chǔ)。我國電子工業(yè)幾十年來一直在尋找高純硅烷大規(guī)模生產(chǎn)的方法，希望掃清中國信息產(chǎn)
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