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          微壓傳感器具體應用說明

          •   微壓傳感器在測量過程,即壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,同時通過電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這個壓力的標準信號得過程。   對于微壓傳感器來說,靈敏度和線性度是微壓力傳感器最重要的兩個性能指標。為了制作出能夠滿足實際應用需求的傳感器,必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中,發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值
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          膜片介紹

          膜片  膜片   diaphragm   圓形膜狀的彈性敏感元件。當膜片的兩面受到不同的壓力(或力)的作用時,膜片向壓力低的一面應變移動,使其中心產(chǎn)生與壓力差成一定關(guān)系的位移。膜片的形式主要有平膜片、垂鏈式膜片和波紋膜片三種。平膜片又可按周邊是否固定支撐、中心是否開孔以及膜片區(qū)域受力分布狀況的不同等分為多種形式,其中最常用的是由周邊固定的等截面圓形薄板構(gòu)成的平膜片。垂鏈式膜片由靠近邊緣處開 [ 查看詳細 ]

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