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芯源微廣州子公司光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目開工

• 4月25日，沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）廣州子公司——廣州芯知科技有限公司半導(dǎo)體設(shè)備光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目開工儀式在廣州舉行。據(jù)官網(wǎng)介紹，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，致力于提供半導(dǎo)體裝備與工藝整體解決方案。芯源微所開發(fā)的涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、單片清洗機(jī)等產(chǎn)品，已形成完整的技術(shù)體系和豐富的產(chǎn)品系列，產(chǎn)品適應(yīng)不同工藝等級(jí)的客戶要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)
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